泄漏部位是真空泵還是管道，由于兩者采取的措施不同，檢測真空增壓泵的方法如下：1。將真空增壓泵與其管路分開，用真空計直接測量真空增壓泵的入口。如果真空增壓泵達到使用標準，泵泄漏的可能性就消除了；2.管道檢查的方法：將管道或某一段管道取下，將一端連接到氣密泵上，用真空計測量另一端。通過這種方法，可以識別泄漏點；3.金屬真空系統(tǒng)中容易漏氣的部位有：焊縫的啟閉部位、兩條焊縫的相交處、波紋管的焊接部位、管接頭的焊縫、受運動影響的釬焊焊縫。法蘭或動態(tài)密封，如果在安裝前仔細清洗并正確組裝，將不會輕易泄漏；4.金屬-陶瓷和金屬-玻璃密封件，如引出電極、測量管的高壓引線、插針、管帽等。受冷熱沖擊影響的焊縫。